2008-7-2

������20����70��������������񣬰�ȫ����ϵͳ���˺ܴ�ķ�չ��Ŀǰ�˿�/ǰ�Ű�ȫ�����Ѿ���ȫ��Χ�ڳ�Ϊ�����������ı�׼���á������г����棬��һЩ�²�Ʒ���Ե��ƶ��£��籣��ͷ���ġ��ز���ϥ�Dz��������Լ����ܳ˿ͼ��ϵͳ�ȣ���2010�꣬ȫ���ܵİ�ȫ����Ӧ���������ﵽ1��8�ڸ���Ϊ�˴ﵽ��������ײ�����������EuroNCAP������߰�ȫ��Ҫ�󣬵�ǰ�߶�����������̽����ײ�ļ��ٶȴ������������Ѿ��ﵽ6�������������������ơ������ٶȴ��������������Ҳ���ڲ����²��ϼ��¼���������������ȫ����ϵͳ���г���������

��������MEMS��΢����ϵͳ���Ĵ�����������������ȡ����������������̽����ٶȵ���÷���֮һ���Dz������ƶ������λ�ƣ�Ȼ���ٽ���ֵת��Ϊ�ɱ��������������˼���������м��ټƾ��ɶ�����ڱ���΢�ӹ��ĵ��ݼ�ⵥԪ��1�������źŵ��ڣ�ת�����Ŵ�͹��ˣ��Ŀ���оƬ��ɡ�ͨ����MEMS�����������оƬ�ֿ�������������ͬһ�����Ϸ�װ�ڣ�ʹ���������ڹ��ռ����Ϳ������ڷ������ͬ�ļ����ܹ����ʹ�á����ڵĴ������Ʒ��������3?m�ߵĶྦྷ�贫�е�Ԫ�ʹ�ͳ��1��2?m CMOS���յ�ASICоƬ��

��������������

�����ڰ�ȫӦ���У����ټƵĿ��ٷ�Ӧ�dz���Ҫ����ȫ����Ӧ��ʲôʱ�򵯳�ҪѸ��ȷ�������Լ��ټƱ�����˲��������Ӧ��ͨ�����ÿ�Ѹ�ٴﵽ�ȶ�״̬�������񶯲�ֹ�Ĵ�������ƿ������������ķ�Ӧʱ�䡣���ң����ݶ��壬���Դ��������κγ�ʼ��ļ��ٷdz����У����������㷨����Ҫ�Ӵ��������¹��з����������б��ϳ���ȷ����ײ�źš�����Ǵ�����������ź�������ͨ�����ӵ�ͨ�˲���400Hz������������Ƶ��ԭ�򡣿�ֱ���ڴ���Ԫ������������ĸ�Ƶ�������ݵĴ������ܴ���������ŵ㡣

����Ŀǰ�ѿ�����һ���µĴ�����������������ͨ�����ӽṹ��ĺ������������ᵽ�ĸ������ܡ����ڿ��ƶ��ṹ�ĸ߶�Զ���ڼ���Ϳ�ȣ����Ըü�����Ϊ������΢����ϵͳ��HARMEMS�������еı���Ϊ��϶�Ͳ���֮�ȡ��ü�����ͨ���Ӧ����ʴ�̣�DRIE���涨�ĺ�ȴ���20 ?m��SOI��ͺ��С��1��5?m��խ��ʵ�ֺܸߵ����ȡ�

�����ü����ĸ����ȼ��ϸ�����յ����ܷ��Կ�ʵ�ֹ������е��Ӧ��ͼ1�жԱ���HARMEMS�Ļ�е��Ӧ��3?m��Ƿ����ྦྷ��MEMS��Poly-MEMS���豸�Ļ�е��Ӧ���ྦྷ��MEMS�豸�ܵ��������������ڴ�����У�Ƶ�ʸ���10 kHz�����෴��HARMEMS�豸��û���ֳ����񣬵������ֹƵ�ʵ���1 kHz��

����ʹ�øü������ɴ���������������ơ�HARMEMS���������е�λ����Ĵ��������ݸ��󣬴Ӷ�ʹ��Լ��ٶȵĵ��ݱ仯��ǿ�������Ϳ�����ߴ���������������ܣ��������ʹ�����ϵͳ�еĴ������ź����棬�����ɴ�������ASIC��������ͬʱ���ٲ�Ʒϵͳ������

����ASIC���װ

���������µĿ��Ƽ��ɵ�·�ͷ�װ�����ķ�չ���������豸Ҳ����˽�һ���ĸ��ơ�����������ͳ��CMOS�����Ѿ�����΢�׻���źż�����չ���ü�������ȷģ��ģ��͸���CMOS�߼������һ�����µļ�����һ�ֻ��ڳ���˫դ�߼�����С�����ߴ�0��25?m����ģ��CMOS��������ΪSmartMOS 8mv���ӵ�ѹ��������ADC������Ŵ�����E2PROM��MCU���ģ���������ӹ��ܶ���ͨ����ʵ�֡�����صĸ����ʹ�ò���ҪΪ�˿��ǵ�ѹ֧�ֶ��������ڲ���֮�䱣���ռ䣬��˿�������޶ȵؼ���ģ���빦������������ܶ��߼���~25K��/ƽ�����ף������ɸ��ӵ�״̬������ж��ֲ�������ѡ���DSP��

����MEMS�ṹ�ķ�װҲ������Ҫ����Ϊ��ֱ��Ӱ�쵽��Ʒ���������ԣ���еӦ����������͵ȣ�����ɿ��Ժͳɱ������ټƵ�һ���ر�Ҫ���ǣ������ô���Ԫ��������ģʱע������ϵ�Ӱ�졣�������Ѿ�ͨ������һ�־�Բ����װ�����õ�������ڸü����У�������ͨ����ñ�ò����۽������ܷ⣬��ȷ������Ԫ�������ܵ��κ�΢���ĸ��š�������㱣�����������ڽ����������й��ղ��裨��Ƭ����װ��ʱ�������⵽�ƻ��������������IJ�����װ�ļ��ټ���ȣ��µļ��ټƿ�ʹ��ģ�߶ѵ��������ﵽ��С�ķ�װ�����6��6��1��98mm����ͬʱ�������������������貽����١�

�����²�Ʒ����

����Ŀǰ���ڿ����������������ļ��ټơ����ڰ�ȫ������Ҫ���ӿ��Ƶ�Ԫ��ECU����˫XY�ᴫ��������HARMEMS��������SmartMOS 8mv ASICоƬ���ɵ�һ�����Ϸ�װ�С�ͨ������16λ����-��ת�����ṩ���е�Ԫ��DSPģ��֮��Ľӿڿ�ʵ��ȫ��������źŵ��ڡ������Ĵ��������������µ����ԣ�����ɱ���ԣ���ѡ�������˲�������ٷ�Χ�����Զ���ϣ��Զ���Ͽ������й����ж����������Լ죩�������ᴫ�е�Ԫ��QFN��װ��������ײ�ж���ĸ�Ƶ�źţ���ASIC�еĹ���Χ�����ɱ������������ԣ��������źű��͡����⣬��������SPI��ģ�⣨3��3V��5V�����������ƴ����˺ܴ������ԡ�

��Դ�������㲿�� ����    �й�����������