�����ڵ�λ�ã� › ���������ȵ�ר����ҵר���߿Ƽ���ҵ
IC��22nmʱ������450mm��Ƭ��������

2011-7-28

 

����ÿ���������������ݾ��е�SemiconWestչ������ȫ�����İ뵼���豸�����չ����֮һ������չ���������¾��У������ϰ����ѹ��������ڻ����ڼ����߹ܻ�Բ�ҵ�ķ�չ��ǰ����������������ͼ�ۺ�չ�������ҵ���ϰ���Ľ�չ���Ը���������һЩҵ���ر��ע�Ŀ��⡣

�����뵼��ҵ����û������

����ǰ�������Ȱ뵼���ҵ�ı仯���������չ��������������Ӧ����û���������������Ҫ��δ�����г����������

����ȫ��뵼��ҵ��Ϸ����ڸı䣬2010���ǹ��ʽ���Σ��֮����׸��������꣬������32%���ս���2011�꣬ҵ���������Ե���Ϊ���겻���ܳ�����˸ߵ������������ڹ��Ե��ƶ����Լ��ն˵��Ӳ�Ʒ�������ֻ���ƽ������г���Ȼ�𱬵������£����ʱ���ҷ�������������Ԥ��2011�뵼��ҵ������2%��10%֮�䡣

���������������ȵĹ�ȥ�����������һ��仯������3��ʱ���ձ�ǿ����Ӱ��֮�⣬Ŀǰ��Ҫ����ȫ�򾭼ô󻷾������ۣ����������ø��ջ�����ʧҵ�ʾӸ߲��£�ŷծΣ��δ��ƽϢ�ȡ�IHSiSuppli�����о�������ʾ�����ڲ�ҵ�ؽ�����ΪԤ���е�����������׼�����ڶ�����оƬ��Ӧ�̵İ뵼����ˮƽ�������߸���������

����ÿ��������Q3�Ǵ�ͳ�����������ȴ��ȫ�򾭼��������������ߵ�����ָ���½������ܻ�������������ķ����������Խ�������г����������빫˾��ʼ�׷׵��ͽ���뵼��������Ԥ�ڣ��翨�ڻ���˾��BruceDiesen��5��ʱԤ��������Ϊ5%����7��ʱ�µ�Ϊ3%��Gartner��Q1ʱԤ��������Ϊ6.2%������6��ʱ�µ�Ϊ����5.1%��Ψ��IHSiSuppli��˾��4��ʱԤ��������Ϊ7.0%������6��ʱ�ϵ�Ϊ7.2%��

�������Ͻ���ӳ�������ȹ�ȥ�뵼���ҵ�ı仯���������չ�����������ϲ�ҵ���������������������뵼���豸��Ͷ�ʴ�2010���385����Ԫ���ӵ������443����Ԫ��������12%�����ն˵��Ӳ�Ʒ�г����൱�л�������2011�������Ե��Ӳ�Ʒ���г��ɳ��ʽ���5.6%����������2.4%��GDP�ɳ��ʡ�2012�������Ե��Ӳ�Ʒ��Ӫ�ս�����������Ԥ�ƻ�ﵽ1970����Ԫ��2011�꣬����ƻ��iPad����������ڵ�ƽ�����������������ﵽ2650��̨���⽫Ϊ��װ�ó��̲���140����Ԫ��Ӫ�գ��������ֻ������۶��2010��ͬ������45%����230����Ԫ��

��������Ŀǰ�����Ե��Ӳ�Ʒ�У�ƽ����ӵ����������»����ơ��о���ʾ��88%��������ͥ����ӵ��һ̨���ֵ��ӻ�������������˸ߵ��ռ��ʣ�2011����ӵ������������»�����Ӫ���Խ�����180����Ԫ��

����IDC�����������������Ԥ�⣬�뵼���г���ģ����2010���2820����Ԫ������2011��3030����Ԫ������7.4%����Ԥ��2012��������5%��3180����Ԫ����2010��2015���ڼ�뵼�����������ʴ�6%��������ƣ��������IC��CAGRΪ4%��5%��ͨ����Ϊ7%��������Ϊ5%��

������˽���ȫ��뵼��ҵ����Ӧ����û���������������Ҫ��δ�����г����������

������֤���ߺ����

��������ʹ����г��ϳ��֡���ͷ�����뵼���ҵ�����ߺ�󡱵Ķ��ɽ��ٴα���֤��

�������ݹ�оƬ��ҵ��ʷ��������ǡ��ʱ��ץס����Ĺ�˾������˺ܺõķ�չ��������5�µ�������(TI)��65����Ԫ�ĸ߼ۼ沢�������Ұ뵼��(NS)�������˵�����һ�����ý��ײ�����TI��ʷ�Ͻ����ߵ�һ�ʲ�����Ҳ��2006�����������ߡ���ģ����оƬ��ҵ�������ס��ɺϵ��ǣ�����ͬһʱ�䣬TI�ľ�������Ӣ����Ҳ��1.006��ŷԪ�չ����δ�λ�ڵ¹���12Ӣ�羧Բ�����й�оƬ���̡���ģ�����桱�������ٴα�����

���������������ʾ����ȥһ�꣬�뵼���ҵ����196׮�������ף���Щ���׵�ƽ����ģΪ1.298����Ԫ����֮��ȣ�TI��֧���IJ���൱��ƽ��ֵ��4�����ϡ�ҵ������TI��NS���չ����ɽ������������򶥷塣

��������Databeans�ı��棬2010��ȫ��ģ��뵼���г��Ĺ�ģΪ420����Ԫ��TI�ڸò�Ʒ������Ӫ�մﵽ59.8����Ԫ��ռ��ȫ���г�14%�ķݶ��2010��NS������ԼΪ16����Ԫ���г��ݶ�Ϊ3%��

��������������TI��NSһֱ�Ǿ������֣����ҹ�˾ÿ�Ҷ�������ؾ������ơ�TI��3����ģ���Ʒ���㷺�Ŀͻ�Ӱ�����Լ�ҵ�����ȵ����켼�������������ϵ�һ��12Ӣ��ģ��оƬ����������NS��1.2����ģ���Ʒ���ر��ڹ�ҵ�г�ռ��ǿ�Ƶ�λ����2010�����۶�ϲ����㣬TI�����ȡ����֥��Ϊȫ�������뵼�幫˾��

������оƬ�����ر��Ǵ�������˵������ģ���������Ǹ��¸����ȥ�����У��뵼��ҵ���֡��������ᡱ��������Ϊ���ԡ��ձ�оƬ��ͷNEC�������Ƽ��ϲ�����������ATIC��˾��AMD���ʳ���GlobalFoundries��2010��1�£�GlobalFoundries������˶��¼�������뵼��ļ沢��

�������������ģ������ģ��оƬ�г�ȴ���ٷ�������ҵ����ʿ��Ϊ������ʹ����г��ϳ��֡���ͷ�����뵼���ҵ�����ߺ�󡱵Ķ��ɽ��ٴα���֤��

�������ڵ�ǰ���г�����±���������������Ҫ���档��TI��CEOTempleton˵������Ʒ�������ͳɱ��������������Լ�����ȫ��ļ���������ϵ��һЩ��˾����ֻ��ij�������ú�ǿ������ͬʱ�߱������������IJ��࣬��Ҳ��TI�ܹ�������չ��ԭ�򡣡�

�������ռ�������22nm�ڵ�

�����뵼�幤�ռ����������ǰ�Ħ�����ɽ�����2011��ɽ���22nm�ڵ㣬������һ���ڵ��ʱ������Ԥ�ϡ�

����Ӣ�ض��Ѿ���������·��ͼ������֮��Ӣ�ض�����14nm�ڵ�����оƬ��Ȼ����2015����10nm��������оƬ�����Ӣ�ض��ƻ���2017���������һ��7nmоƬ��

����Ӣ�ض���22nm��դ(trigate)����ܼ�������̱����壬Ԥʾ�뵼�弼������3D���ɡ�

������Ϊ����ITRS�뵼�幤��·��ͼ����2007��45nm�ڵ�ʱ��Ӣ�ض��ͷ����˸�k/����դ���������Կ����Ǿ������ɲ��ϵ�һ�θ��£��ø�k�����������ͳ��SiO2���ö�����������10�ꡫ15�ꡣ����5��Ӣ�ض��ַ���3D����ܽṹ��ʹ��ͳ�ľ���ܶ�ά�ṹ�����ά��Ӧ���ǰ뵼�幤�ռ�������һ���ش�ĸ�����

����ҵ�����Ӣ�ض������õļ����ڵ�Ҳ�����²⡣Ӣ�ض���22nm�Ƴ̽�����Ӣ�ض��ĵ�����high-k/����դ��������ʹ��ͭ������low-k��������32nm��ͬ��Ӣ�ض�����193nm��Һʽ��̼�����

����Ӣ�ض���22nm��3D����ܼ������������40nm��40%������ʡ30%���乤�ճɱ�������2%��3%��������SOI����Ҫ����10%�������ʵ��100%�ĵ������������Ԥ��2011�ϰ��꿪ʼ��������

������Ӣ�ض����±�����22nm��Ʒ�ڽ���Ͷ����14nm�������Ӵ�Ͷ�ʼӽ����裬���þͻ�ӵ�14nm�豸�Ķ�����δ���뵼�弼���ɴ�7nm�ڵ㡣

����̨��������28nm���չ�ģ���������ڽ������ʽ��ʼ��������28nm���յľ�Բ��̨����ƣ���˾�ƻ���2011��Q3ij��ʱ��ʼ����28nm���칤�յ���ҵ������������2011��Q4ʱ��28nm��Բ������Ӫ�չ��ױ��ʽ��ﵽ2%��3%���ҡ�

�����뵱��������40nm���칤��ʱ��ȣ�̨���籾������28nm���칤���������ڲ���������������Ʒ�ʸ��Ʒ��涼���Ϊ˳������Ϊ��������40nm���칤�յ�ʱ��̨��������Ҫ�豸�����ģ�������28nm���칤������̨�����ƺ�����������豸�ĵ��ԡ�

��������2010��4�¿�ʼ����27nmNANDFlash������ȫ��20nm�ȼ��Ƴ̵�ʱ��������15���£����Ǽ���չ��21nm��Ʒ��չʾ�����ȫ��ļ���ˮ׼��

�������⣬��֥�ڽ���7�µ׽����ձ������ذ�����fab5�뵼�峧�У���19nm�Ƴ�����NANDFlash��Ŀǰ��֥��Ҫ����24nm�Ƴ̲�Ʒ������ʿ�ڼ���������Ҳ�����˺󣬽���2011����ļ�����20nm�Ƴ�����NANDFlash��

����EUV��δ����̱�Ȼ����

��������EUV����֮�⣬��������Ĥ�Ķ�����������̼�����ӡˢ�ȶ��ֺ�ѡ������δ����չȡ�����Լ۱ȡ�

�����ƶ��뵼��ҵ�������������ӣ�һ���������ߴ���С����һ���ǹ�Ƭֱ��������ӹ���ɣ��ߴ���С����ռ�ȡ�����Ӣ�ض�����22nm��3D���������ɹ�������һֱǰ��������16nm�������ܻ���ǰ�����г���

����Ӱ��ߴ���΢�Ĺ�̼�����Ŀǰ��һֱ���ø��̵��عⲨ��������ArF��Դ���񵴲���Ϊ193nm������EUV(�������߹��)�����Ķ���Ƴ٣�ʹ��193nm��ѧ��̷������ӵ����쾡�¡����193nm�ɷ���ʪ����һֱ�����շ�����ɱ����ӵ�˫��ͼ�μ�����

����ҵ������2008��ʱ����Ϊ��ѧ����ѿ쵽��ͷ��22nm���յ㣬֮�����Ҫ���ò���Ϊ13.4nm��EUV����������EUV��������һ����̵ĺ�ѡ�ߣ�����EUV�Ѿ�������Ƴ٣�ԭ���ǻ���Щ����û�н��������ȱ�����ʹ�Դ(���ʲ���)��EUV��Ĥ�õ�pellicle�����⻹�о������أ���ÿ̨�豸�۸�ߴ�1.25����Ԫ���Լ��豸��ÿСʱ��Ƭ�������⡣

��������EUV����֮�⣬��������Ĥ�Ķ�����������̼�����ӡˢ�ȶ��ֺ�ѡ������δ����չȡ������һ�ּ������Լ۱ȸ��ߡ�

����Ŀǰȫ��EUV������Ĥ����������豸�Ľ�չ���£�

����Nikon����������¹�ѧϵͳ621D���׿̾���2nm/3sigma�����Ŀ�����EUV-1��NAΪ0.25��δ���Ƴ�������EUV-HVMʱNAΪ0.4��

����ASML�趨����EUV·��ͼ���俪����NXE3100��NAΪ0.25�������Դ�����ڹ�Ƭ�����ϴﵽ15������/cm2ʱ��ÿСʱ�ɴ�125Ƭ��ASMLĿǰ������̨�豸�ڿͻ��������ԣ�����̨���ڰ�װ����Ԥ�⵽2012���ǰ�ɳ���10̨������ȫ��EUV��Դ�Ĺ�Ӧ�̰���Cymer��Gigaphoton��Ushiro���������˳�XTtreme��ASML��˾��������EUV��Դ��Ӧ��ѡ����δ����������

������һ��Mapper��˾���ڿ�������Ĥ�Ķ�����������̻������ĵ�һ����1.1��25nmʱÿСʱ����1Ƭ���ѷ������������з�����Leti�����꽫�ٷ�����TSMC���ù�˾�ƻ����ü����������Ѳ�����ߵ�ÿСʱ10Ƭ���Լ�������16nmʱʵ��ÿСʱ100Ƭ��Mapper��������������ÿ̨�豸�ļ۸񼰲��ܣ�Ŀ����ÿ̨�豸Ϊ500��ŷԪ����EUV�۸���Ƚ�Ϊ����ͷ��

������һ��EUV��Դ��Ӧ��Xtreme�������ü���ŵ�����Ӽ�������Դװ�ð�������װ��Һ̬�����֣���10000Hz�·ŵ������������(δ������װ�øߴ�10��Hz)����Դ���������ش�8�֣�Ϊ�˷�ֹ����Ⱦ���۹⾵����װ�������֡�Xtreme��MarcCorthout��Ϊʵ���Ϲ�Դ�ܴﵽ����Ҫ������Ĺ��ʡ�

��������ʱ��IMEC��ΪEUV��δ����̵ı�Ȼ���ơ���ȫ�����������������һ�����ʹ�߼���洢���ͻ���������EUV�������ؼ����豸����Ĥ���̽���Ŀǰ�ѱ�ȷ�϶��ǿ�ʵ�еġ��������ĿǰEUV����Ҫ��ս���ǹ�Դ��Ԥ���������ÿ�������11nm���յ������ҡ�

����IMEC��2011��3�µ������ع�װ�õ�����EUV��Դ������ʼ���о���ʩ�ڽ����˵��������ϲ��ԡ��������붫�����(TEL)��Ϳ����Ӱװ�á�LithiusPro�����ӡ�IMEC��ʾ����������ΪASML��˾�ع⹤��������EUV�ع�װ�õ�20�����ƻ���2012�����ʵ��100W�Ĺ�Դ������ʺ�60��/Сʱ���������������ص����ȷ��棬�˴γɹ����дﵽĿ��ֵ4nm���µ�DZ���������ֱ�����ʹ��ż������ʱ�ɴﵽ20nm���£�����IMEC��Ŀ�ꡪ��2013��ȷ���ֱ��ʴﵽ16nm������������˵���˴γɹ�������̱������塣

����ҵ�����EUV��ǰ���������ǣ������ǹؼ���������ˣ�EUV��һ��֮ǰ����Ѿ����и��ƣ���������̨�豸����������ǰ��׼���׶Ρ�

�������Կ϶�ҵ����ô�ͳ�Ĺ�ѧ����豸����Ϊ���õģ���Ҳ���о�ͷ�����䵱�ߴ�Խ��ԽСʱ�����ڳɱ�̫��Ը����ٵij���������Խ��Խ�٣�������δ�����ÿ����Բ������˶�����11nmʱEUV���ܵ���������ɡ�

�����ƶ�450mm��ƬѸ�ٹ���

�����ɱ��½��Ǿ���450mm��Ƭ�ɹ��Ĺؼ���ֻ��ʹоƬ���������豸������ͬʱʵ��˫�������ܳ��������뷢չ��

�����й�450mm��Ƭ������ҵ��һֱ���۲��ݡ�������Ϊֹ�ֻ���̬�ȵ��������ң��ֱ���Ӣ�ض���̨���缰���ǣ�����̨�����̬���ƺ�������һЩ����̨����Ӫ���߲�Ʒ��չ������������̸���й�18Ӣ�羧Բ���ƻ�������̨����Ԥ��2013�ꡫ2014�꽨���Բ��ߣ�2015�ꡫ2016����̨�г�������18Ӣ�羧Բ�����ӻ����������������������12Ӣ�糧����Ч�ʡ�

����ҵ�ڶ���18Ӣ�硢450mm��Ƭ���ɳ���һ�ֹ۵���Ӧ�ò��Ϲ�˾Ϊ�׵�һ���豸��Ӧ�̡�����Ҳʮ������������450mm�豸�ķ���ԼΪ200����Ԫ����˭���е�����һ�����Ϊʵ�ʣ���δ���ж��ٶ������������Ͷ�ʵĻر��ʡ�

����Ȼ�������ڽ��ڲ�ҵ�Ľ�����ʹ˫���Ĺ۵�Խ��Խ�ӽ�����Ӧ�ò��Ϲ�˾�ܲ�MikeSplinter�������Q2���ܽ�����ѹ�����ʾ����2012�깫˾Ҫ�Ӵ�450mm�豸���з�Ͷ�����ȣ�����Ӧ�ò��Ϲ�˾�Ѿ�����450mm��Ƭ�Ǵ�����������Ϊȫ��뵼���豸����ͷ�򣬲�������˿���ij��ɣ�ֻ�л����ĸ�������δ��������֮����

������������450mm��Ƭ�Ĺ��ɣ��ֻ������Ѳ������Ȼ��˭�������������ƽ��ߣ��Լ���ʲôʱ����ɿ����д��в�ͬ�Ŀ�����

������Ϊ������ݱ����Ӧ���Ǹտ�ʼʱ��2��3�ҹ�˾����450mm���������ߣ�Ȼ����оƬ����ɱ��½���������Ѹ�ٹ��ɵ����������ߣ���֮ǰ��200mm��300mm��Ƭ���ɵĹ��̼�����ͬ����������ͬ���������£�450mm�����ߵ������ɱ���Լ��300mm��Ƚ�����30%���������ڹ�Ƭ�������2.25������������оƬ������ɱ��½����ɴ˽������������䣬�Լ�����ij�Ͷ��450mm��Ƭ(����ȫ����10������)�������Ĺ��̵���450mm��Ƭ���г�ռ���ʽ���С������Ŀǰ300mm��Ƭռ�ܹ�Ƭ�������ѳ���60%�������450mm��Ƭ���ɵĹؼ����ڳɱ��½������ұ���ͬʱʹоƬ���������豸������ʵ��˫Ӯ��

��������450mm��Ƭ�Ĺ���ʱ��㣬̨����ѡ����2015�ꡫ2016�꣬Ҳ��22nm��16nm�������׶Σ�����ҵ����ڲ�ͬ�Ŀ�������Ϊ��200mm��300mm��Ƭ����ʱ��ԭ�ȹ�����250nm�ڵ㣬ʵ�����Ƴٵ�130nm�ڵ㣬Ӣ�ض���2002���״ν�12Ӣ�������ߡ����δ��450mm��Ƭ�����ײ�ҵ������Ϊ��Լ���أ�����ҵ������в�ͬ��������ȫ�����ġ�

������Ӧ�ò��Ϲ�˾�Ƕȣ���1996�꿪ʼ���з�300mm�豸��ԭ����Ϊ��2000�����Ҿͻ��д����Ķ������֣�ʵ������������2001���������ĭ������ʵ����ȫ��300mm�豸�Ƴٵ�2003���������ɫ�����Թ�˾�Ļ����㱻�Ƴ���3��4�꣬��������ʷ��ѵ����450mm����ʱ��������ȫ����ȴ��

����Ӧ�ò��Ϲ�˾�ܲ�MikSplinter�����ڻش����ʦ�����й�450mm�豸����ʱ����ΪĿǰ���д����Ĺ���Ҫ�������豸���Զ�����ǻ����Ƶȣ�����2012�깫˾�϶���Ӵ�Ͷ�����ȡ�Ȼ�����ڻ���̫����ͻ�����ʲôʱ����¶���������ʲôʱ���ܹ��ṩ�����в���˵��������Щ������������2015�ꡫ2017��Ҫʵ��450mm��Ƭ��������

�����ɱ��½��Ǿ���450mm��Ƭ�ɹ��Ĺؼ���Ȼ������ָоƬ������ɱ����������豸�йأ��������׵IJ�ҵ���йء�����ֻ��ʹоƬ���������豸������ͬʱʵ��˫Ӯ�����ܳ��������뷢չ�����δ����450mm��Ƭ���ɣ�����Ҫ����300mm��Ƭ���ɸ�Ϊ���������ѣ��������ڻ����һЩ��

����������450mm��Ƭ�Ǵ���������ҵ�缺�й�ʶ��Ȼ����ʱ�����Ŀ�ʼ���ɣ��Լ�ȫ���ж��ٳ���Ը�����70����Ԫ��100����ԪͶ�ʽ������д��۲죬��Ҳ��Ŀǰ�ƺ����в�ͬ�۵��֢�����ڣ���Ϊ����ֻ�����۶�ﵽ��ӽ�200����Ԫ����ҵ���ܹ�֧�ֵ�����˾޶�ij���Ͷ�ʡ�

 

��Դ��    ���й����ӱ���